Прочное положение на фронтах и устранение политических конкурентов позволили робеспьеристам активизировать усилия по созданию совершенного, на их взгляд, общества. Могущество триумвирата достигло апогея. После разгрома «ультралевых» робеспьеристы взяли под полный контроль Коммуну Парижа и подчиненную ей национальную гвардию. Созданную весной 1794 года «общую полицию» поочередно возглавляли члены триумвирата. Во главе Революционного трибунала и среди присяжных тоже находились их люди. Казалось, «царство Добродетели» можно теперь строить беспрепятственно.

Важным шагом на пути к нему должно было стать введение новой религии – культа Верховного существа. По сути, он представлял собой сакрализацию республиканских добродетелей: обожествлялись обязанности гражданина перед государством. 7 мая 1794 года Конвент после доклада Робеспьера принял декрет, где сформулировал принципы новой религии и установил соответствующие праздники. Первый из них состоялся на следующий же день. Главным действующим лицом на нем, своего рода «первосвященником», выступил сам Робеспьер, поскольку в тот момент именно он являлся председателем Конвента. Однако, несмотря на пышно обставленное празднество, насаждаемая сверху квазирелигия не нашла отклика в народе.

Другой мерой по реализации робеспьеристского идеала стало ужесточение террора. 10 июня 1794 года (22 прериаля II года Республики) Кутон выступил в Конвенте с предложением принять новый декрет о Революционном трибунале, отменявший защиту подсудимых и прочие «излишние» формальности. Эта беспрецедентная мера преподносилась как средство очистить Республику от людей, не способных жить по законам добродетели: «Задержка в наказании врагов отечества не должна превышать времени, необходимого для установления их личности. Речь идет не столько о том, чтобы наказать их, сколько о том, чтобы уничтожить». Дефиниции «враги отечества» и «враги народа» обозначали не только политических противников, но имели гораздо более широкое, этическое толкование. Этот декрет, принятый при энергичной поддержке Робеспьера, а фактически продавленный им и Кутоном, несмотря на сопротивление ряда депутатов, легализовал уже практиковавшееся привлечение к ответственности за «моральные преступления». «Врагами народа», подлежавшими смертной казни, объявлялись, в частности, те, кто «пытается ввести народ в заблуждение и воспрепятствовать его просвещению, испортить нравы и развратить общественное сознание, повредить энергии и чистоте революционных и республиканских принципов».

Декрет от 22 прериаля открыл период «Великого террора», когда в Париже ежедневно гильотинировали от 30 до 60 человек. Всего же с 11 июня по 27 июля 1794 года в столице было казнено 1376 человек.

Однако подобная концентрация поистине диктаторской власти в руках Робеспьера и его сподвижников вызвала недовольство у слишком многих. В заговор против триумвирата вошли другие члены правительственных Комитетов, многие монтаньяры (Фуше, Тальен, Мерлен из Тионвиля и другие), а также депутаты Равнины. Робеспьеристы, зная о зреющей оппозиции, готовились нанести упреждающий удар. Однако их противники сделали это раньше. 27 июля (9 термидора II года), когда Сен-Жюст собрался выступить в Конвенте с обвинениями против Бийо-Варенна и Колло д’Эрбуа, выскочивший на трибуну Тальен не дал ему говорить, а другие депутаты обвинили робеспьеристов в тирании и приняли декрет об их аресте. Еще недавно всесильных триумвиров развезли по тюрьмам. Однако главнокомандующий парижской национальной гвардией Анрио освободил их и доставил в Ратушу. Здесь робеспьеристы попытались создать центр сопротивления Конвенту, но секции их не поддержали. Напротив, противники триумвиров собрали у Конвента национальную гвардию, которая двинулась на Ратушу и захватила ее. На другой день Робеспьер, Сен-Жюст, Кутон и их сторонники (всего 22 человека) были казнены по закону от 22 прериаля, который ранее сами же и провели. Мираж «царства Добродетели» рассеялся с гибелью его авторов.