Книга: Микромеханические системы и элементы
Назад: 2. Магниточувствительные элементы и тензорезисторы
Дальше: 2.2. Преобразователь магнитного поля

2.1. Возможности магниточувствительных элементов

Оценка возможностей изделий микромагнитоэлектроники и их очевидных преимуществ перед другими группами изделий электронной техники, выполняющих сходные функции, показывает, что мы имеем дело с перспективным направлением техники, которое в России продолжает развиваться. В то время как за рубежом микромагнитоэлектроника развивается высокими темпами, о чем свидетельствует ежегодный рост номенклатуры и объемов производства изделий, привлечение новых производителей, расширение сфер применения. Номенклатура производимых фирмами изделий исчисляется сотнями типов, суммарный объем производства которых составляет несколько миллиардов изделий в год. Общий уровень развития отечественной микромагнитоэлектроники значительно уступает уровню зарубежной и в темпах роста, и в расширении номенклатуры, и в увеличении объемов выпускаемых изделий.
В мировой практике выявились основные тенденции и определились перспективы дальнейшего развития микромагнитоэлектроники. В последующее десятилетие усилия разработчиков и производителей магнитоэлектронных устройств и аппаратуры будут направлены на:
• дальнейшее повышение уровня магнитоэлектрических параметров и эксплуатационных характеристик изделий;
• повышение степени интеграции изделий с постепенным переходом на многоканальные устройства;
• расширение функций, выполняемых изделиями микромагнитоэлектроники, и сфер их применения;
• дальнейшее уменьшение габаритов, массы и материалоемкости, на снижение энергопотребления и удельной себестоимости изделий.
В массовом производстве изделий микромагнитоэлектроники можно ожидать увеличения использования новых полупроводниковых материалов (арсенида галлия, антимонида индия и др.) и магнитотвердых материалов (сплавов самарий-кобальт, неодим-железо-бор и др.), а также более совершенных технологических процессов: ионной имплантации, КМОП– и КНИ-технологий, молекулярной эпитаксии, плазменного осаждения магнитно-твердых пленок и др. [5].
Анализ тенденций и возможных перспектив развития функционально-ориентированных магнитных датчиков показывает, что будет стремительно развиваться производство высокочувствительных магнитных датчиков и МЭУ для навигационных и медицинских приборов, для военной техники, продолжены работы по повышению уровня магнитоэлектрических параметров и улучшению эксплуатационных характеристик, в том числе и по повышению предельной рабочей температуры до 200 °C и более. По мере совершенствования технологии изготовления и конструкций магнитных датчиков сохранится тенденция к дальнейшему уменьшению их габаритов, что приведет к снижению размеров и массы дорогостоящих постоянных магнитов.
Изделия микромагнитоэлектроники содержат много различных элементов, передающих «механическое» воздействие от объекта контроля (или управления) к чувствительному элементу изделия. К таким элементам относятся различного рода рычаги, поводки, валы, штоки, поршни и плунжеры, тонармы, валы, муфты, пружины, кардановые подвесы и др. [5]. Все эти элементы разрабатываются вместе с конкретными магнитоэлектронными устройствами с учетом условий эксплуатации. Для повышения термической устойчивости изделий микромагнитоэлектроники, содержащих собственные магнитные системы, используются термомагнитные шунты, которые изготавливаются из специальных термомагнитных материалов.
Термомагнитными называются магнитно-мягкие материалы, обладающие сильной зависимостью магнитной проницаемости от температуры. При увеличении температуры окружающей среды магнитная проницаемость указанного материала падает. Для изготовления элементов магнитных систем изделий микромагнитоэлектроники могут использоваться следующие термомагнитные сплавы: Н33Ю1, ЭП456 (термаллой), 38НХ14, 36НХ11 (компенсатор), Н32Х6Ю, ЭП279 и др. [5].
Назад: 2. Магниточувствительные элементы и тензорезисторы
Дальше: 2.2. Преобразователь магнитного поля

nik
thank you